Los métodos ópticos de caracterización han sido desde el principio fundamentales en el estudio de la materia, el desarrollo de la astronomía y de la teoría cuántica. Estos métodos son en general no destructivos y relativamente económicos, pues en el caso más sencillo basta dirigir un haz de luz sobre la muestra y estudiar su respuesta óptica. En el caso de las capas delgadas, la información obtenida es muy amplia y no sólo se limita a las propiedades ópticas, ya que también se puede obtener el espesor de las muestras, su rugosidad, composición química, defectos e incluso la estructura atómica y electrónica. En la primera parte de este capítulo se repasan los fundamentos de la interacción luz-materia. En la segunda parte se introducen los metódos ópticos y espectroscópicos de análisis más relevantes (reflectancia, transmitancia, elipsometría, fluorescencia y espectroscopías vibracionales) y su aplicación a capas delgadas.